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Beschreibung
Molecular Beam Epitaxy describes a technique in wide-spread use for the production of high-quality semiconductor devices. It discusses the most important aspects of the MBE apparatus, the physics and chemistry of the crystallization of various materials and device structures, and the characterization methods that relate the structural parameters of the grown (or growing) film or structure to the… technologically relevant procedure. In this second edition two new fields have been added: crystallization of as-grown low-dimensional heterostructures, mainly quantum wires and quantum dots, and in-growth control of the MBE crystallization process of strained-layer structures. Out-of-date material has been removed. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Details
Erscheinungsdatum
17.09.1996
Sprache
Englisch
EAN
9783540605942
Herausgeber
Springer Berlin
Serien- oder Bandtitel
Springer Series in Materials Science
Sonderedition
Nein
Autor
Marian A. Herman
Seitenanzahl
453
Auflage
2
Einbandart
Gebundene Ausgabe
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